[서울파이낸스 박시형 기자] 정부가 차세대 극자외선(EUV, Extreme Ultra Violet) 장비 도입의 걸림돌이 됐던 '신소재 배관' 규제를 개정해 국내 반도체 산업의 경쟁력을 높이고 기업 활동을 촉진했다.
산업통상자원부는 반도체 초강대국 달성을 위해 반도체 산업에 사용되는 고압가스에 대한 안전혁신과제 11건을 선정하고 전문가 검토 등을 거쳐 합리적으로 개선해 기업부담을 완화할 계획이라고 12일 밝혔다.
산업부는 먼저 차세대 EUV 첨단장비 선점을 위해 가스상세기준을 개정해 슈퍼듀플렉스 강 등 미국기계학회(ASME)에서 인정받은 재료의 배관도 고압가스 배관으로 사용할 수 있도록 할 예정이다.
EUV 장비는 극자외선을 이용해 반도체 회로를 그려주는 장비다. 차세대 장비는 스테인리스강보다 내부식성, 저항성 등이 보완된 이중구조의 신소재인 슈퍼듀플렉스 재질의 고압가스배관을 사용하고 있다.
하지만 국내에서는 고압가스법령 내 신소재 배관에 대한 사용 규정이 없어 차세대 EUV 장비의 국내 도입이 불가능한 상황이다.
산업부는 또 반도체 공장의 방호벽 고정 방법과 두께 기준도 개선한다.
현재 반도체 공장은 바닥면이 얇은 경량화된 복층건물구조로 건설되는데, 깊이 묻어야 하는 기존 방호벽 지주 고정방법으로는 지주설치가 곤란하다. 현행법상 방호벽 지주는 기초에 400㎜ 이상 깊이로 묻거나 지름 20㎜이상의 앵커볼트를 사용해 고정해야 한다.
방호벽 역시 지금은 두꺼운 콘크리트 재질만 설치할 수 있어 공장 증설에 어려움이 크다.
이에 산업부는 가스상세기준에서 구조기술사 등이 안전성을 확인한 경우에는 케미컬 앵커 등 다양한 지주설치방법을 허용하고, 방호벽도 콘크리트와 동등한 안전수준이면 강판제 등 다양한 재질을 허용하도록 기준을 마련해 공간 활용성을 높이기로 했다.
공장내부에 가스용기를 보관하는 '저장용 실린더캐비닛' 지붕에 대한 기준도 개선된다.
저장용 실린더캐비닛을 공장 내부에 설치할 때 현행 기준으로는 설치 장소의 지붕을 가벼운 불연재료로만 사용해야 한다. 이 경우 공장을 복층으로 증설할 때 생산설비 무게를 버티지 못해 실린더캐비닛 자체를 옮겨야 한다는 어려움이 있다.
산업부는 전문가 검토 등을 거쳐 저장용 실린더캐비닛에 대한 안전성을 검증한 뒤 지붕을 가벼운 불연재료로 사용하도록 하는 의무규정을 면제하는 기준을 마련할 예정이다.
박일준 2차관은 "반도체 초강대국 달성을 촉진하고, 지원하는 기폭제가 될 수 있도록 이번 선정된 혁신규제과제를 신속히 추진하겠다"며 "앞으로도 반도체산업 뿐만 아니라 에너지분야 안전과 관련된 다른 산업에서도 안전 확보와 산업 발전의 균형을 도모하는 규제혁신과제를 지속적으로 발굴해 기업경쟁력이 강화되도록 지원해 나가겠다"고 말했다.
