[서울파이낸스 박지은기자] SK하이닉스는 일본 도시바와 나노 임프린트 리소그래피 기술에 대한 공동 개발 본 계약을 체결했다고 5일 밝혔다.
양사는 지난 해 12월 동 건에 대한 MOU를 체결한 바 있으며, 이번 본 계약 체결을 통해 실제 개발에 착수하게 된다.
NIL 기술에 대한 공동 개발은 오는 4월부터 양사 엔지니어들의 협업으로 도시바의 요코하마에 위치한 팹에서 진행될 예정이며, 2017년 즈음에 실제 제품에 적용될 예정이다.
NIL 기술은 메모리 공정 미세화가 진행 중인 가운데 미세 패턴을 구현하는데 있어 적합한 차세대 리소그래피 공정기술로 평가 받고 있다. 또한 막대한 투자가 선행되어야 하는 기존 공정기술과 달리 경제적인 양산이 가능하다는 장점도 갖고 있다.
업계는 공정 미세화의 한계를 극복하기 위해 EUV(Extreme Ultraviolet) 활용 등 노력을 기울여 왔으며, NIL 기술도 한계 극복을 위한 방안 중 하나로 개발된 상태다.
SK하이닉스는 이번 협력을 통해 "공정 미세화의 한계에 대응하기 위한 새로운 기술을 확보할 수 있게 돼 양사가 메모리 반도체 선두 업체로의 입지를 더욱 강화할 수 있을 것"이라고 기대했다.
한편, SK하이닉스는 도시바와 지난 2007년 특허 상호 라이선스 계약을 체결한 바 있으며, 2011년부터는 차세대 메모리인 STT-M램의 공동개발을 진행해 오고 있다.
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