[서울파이낸스 김혜경 기자] 미국의 화학소재 기업 듀폰(DuPont)이 충남 천안에 포토레지스트 생산시설을 구축한다. 해당 소재는 지난해 불화수소, 플루오린 폴리이미드와 함께 일본의 수출규제 대상에 포함됐던 품목이다.
산업통상자원부는 성윤모 장관과 존 켐프(Jon D. Kemp) 듀폰 사장이 8일(현지시간) 오후 미국 실리콘밸리 라운드테이블 회의에 앞서 별도 만남을 갖고 EUV용 포토레지스트 한국 투자를 최종 확정했다고 밝혔다.
이 자리에서 존 켐프 사장은 장상현 코트라(KOTRA) 인베스트코리아 대표에게 투자신고서를 제출하면서 "EUV용 포토레지스트 개발·생산을 위해 한국 내 주요 수요업체와 제품 실증테스트를 진행하는 등 긴밀히 협력해 나갈 계획"이라고 말했다.
듀폰은 한국내 자회사인 롬엔드하스전자재료코리아를 통해 1998년부터 충남 천안 2개 공장에서 반도체 회로기판용 소재·부품을 생산해왔다. 듀폰의 생산제품은 KrF(불화크립톤), ArF(불화아르곤) 포토레지스트, 빛반사 방지막제, 금속박막도금, 유전체, 클리닝 화학제품 등이 있다.
듀폰은 올해부터 내년까지 천안에 EUV용 포토레지스트와 반도체 웨이퍼의 화학·기계적 연마 소재인 CMP패드 생산라인을 건설한다. 총 투자비는 2억8000만달러 규모다.
산업부는 지난해 7월 일본 정부의 수출규제 조치 이후 핵심 소재‧부품‧장비의 공급 안정화를 위해 듀폰과 직접 접촉해 투자유치를 협의했다. 이 과정에서 정부와 지자체, 코트라가 원팀으로 협상을 진행해 경쟁국을 제치고 한국이 최종 투자처로 선정됐다.
EUV용 포토레지스트는 그동안 일본 수입에 의존했지만 이번 투자를 통해 공급선 다변화에 기여할 수 있다는 점에서 의의가 크다고 산업부는 설명했다.
성 장관은 "최근 EUV용 포토레지스트에 대한 특정포괄허가 허용 등 일본 수출규제 조치 해결에 일부 진전이 있었지만 근본적인 해결방안으로 보기는 어렵다"면서 "정부는 핵심 소재‧부품‧장비에 대한 기술경쟁력 확보와 공급선 다변화를 계속해서 추진해 나갈 것"이라고 말했다.
